北方華創(chuàng)高端集成電路裝備研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項目，目前正在裝飾裝修階段，該項目預(yù)計6月初全部竣工，并將交付業(yè)主使用。據(jù)悉，該高端集成電路裝備研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項目為地下2層、地上10層，將建設(shè)28納米以下集成電路裝備工藝驗證及產(chǎn)業(yè)化條件，搭建5或7納米先進工藝設(shè)備測試驗證平臺，進行先進半導體工藝裝備研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化。項目建設(shè)完成后，將具備年產(chǎn)刻蝕機、PVD、退火爐、立式爐、清洗機等設(shè)備150臺以上的能力。